一种岛膜结构硅压阻传感器装置.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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一种岛膜结构硅压阻传感器装置.pdf

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本发明提供一种岛膜结构硅压阻传感器装置，包括衬底（1），在衬底（1）上设有压力敏感层（2），在衬底（1）上设有第一槽体（3），在压力敏感层（2）底部设有与第一槽体（3）连通的第二槽体（4），在第二槽体（4）内设有岛状结构（5），在压力敏感层（2）上设有氧化层（6），在压力敏感层（2）设有一组向上穿透氧化层（6）的盲孔（7），在盲孔（7）内设有压敏电阻（8），在氧化层（6）均布有一组焊盘（10），在氧化层（6）上设有连通焊盘（10）和压敏电阻（8）引线（9）。本发明基于小尺寸敏感层和E型岛膜结构结

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114295262 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111479343.7 (22)申请日 2021.12.07 (71)申请人华东光电集成器件研究所