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- 2023-05-05 发布于北京
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本发明提出一种微纳粒子及其阵列与光波导集成的光子学器件结构。该光子学器件结构包括第一微纳粒子,第二微纳粒子,第一光波导,第二光波导,以及基底层。其特征在于第一微纳粒子和第二微纳粒子分别位于第一光波导和第二光波导的轴线延长线方向;第一微纳粒子,第二微纳粒子,第一光波导和第二光波导属于横向光散射层;横向光散射层制备在基底层上。所述微纳粒子和光波导的材料包括但不限于,硅、锗、或者氮化硅等电介质材料。该光子学器件结构实现入射光束的正交偏振分量分别耦合进第一光波导和第二光波导。该集成光子学器件结构及其阵列
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114296184 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202210135027.6
(22)申请日 2022.02.14
(71)申请人 西北工业大学
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