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- 2023-05-05 发布于四川
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本发明属于光学测量技术领域，公开了一种提高椭偏仪测量精度的方法，该方法的步骤为：(1)偏振片安装；(2)偏振片准直；(3)窄带滤光片安装及准直；(4)偏振片透光轴方向校准；(5)布儒斯特角测量；(6)偏振态数据测量。与现有技术相比，本发明方法过程简单，改善现有测量模式，可提高椭偏仪测量灵敏度和测量精度，可以适用于现有不同结构类型的椭偏仪的优化。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114295555 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202111572176.0
(22)申请日 2021.12.21
(71)申请人 西安应用光学研究所
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