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划片机工作台的调平机构及调平方法.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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划片机工作台的调平机构及调平方法.pdf

    本申请涉及晶圆加工机构的领域，尤其是涉及一种划片机工作台的调平机构及调平方法，其包括底座，底座上设有安装板，安装板上设有多个升降件，多个升降件贯穿安装板与底座连接。升降件为调节套，底座上开设有容纳腔，调节套一端设置在容纳腔内，另一端与安装板螺纹连接。本申请具有方便对工作台的位置进行调节，提升晶圆的切割精度，减少晶圆报废的效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114290549 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111573059.6 (22)申请日 2021.12.21 (71)申请人 江苏京创先进电子科技有限公司

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