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诱导腐蚀基板及制作方法及侦测蚀刻液诱导腐蚀的方法.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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诱导腐蚀基板及制作方法及侦测蚀刻液诱导腐蚀的方法.pdf

    本申请提供一种诱导腐蚀基板、诱导腐蚀基板的制作方法及侦测蚀刻液诱导腐蚀的方法，包括：提供衬底；在所述衬底上镀设金属膜层；在所述金属膜层表面构造异物粒子；在所述金属膜层的表面形成蚀刻阻挡层，所述蚀刻阻挡层还覆盖所述异物粒子，得到诱导腐蚀基板。本申请提供的诱导腐蚀基板的制作方法、诱导腐蚀基板及侦测蚀刻液诱导腐蚀的方法，通过获取当前蚀刻参数，能够获得蚀刻液由于异物粒子的存在是否会引起蚀刻异常、以及能够获得由于异物粒子的形态不同是否会引起蚀刻异常，进而评估所述待侦测的蚀刻液诱导腐蚀的敏感度，从而将蚀刻异

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114300371 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111588337.5 (22)申请日 2021.12.23 (71)申请人 TC

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