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- 2023-05-05 发布于四川
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本发明公开了一种具有改良衬底结构的兰姆波声波器件及其制作方法。所述兰姆波声波器件包括衬底(1)、压电单晶薄膜(4)和电极(5)，所述衬底(1)上形成有排气槽(2)和空腔(3)，所述压电单晶薄膜(4)至少覆盖所述空腔(3)，所述排气槽(2)与设置在所述兰姆波声波器件表面的开口连通。本发明提供的兰姆波声波器件具有高频、大机电耦合系数、高品质因子等特点，且制备工艺可靠，其中通过在衬底上增设排气槽，能够使键合及退火过程中产生的气体及时排出，改善键合质量，提高产品良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114301412 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202111638591.1
(22)申请日 2021.12.29
(71)申请人 苏州达波新材科技有限公司
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