CMP浆料过滤器行业研究、市场现状及未来发展趋势(2023年).docx

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CMP 浆料过滤器行业争论、市场现状及将来 进展趋势〔2023-2026〕 ◎调研报告 ◎调查报告 ◎市场调研 ◎行业分析 调 研 报 告 Research Proposal 1 1 化学机械平面化〔CMP〕是一种抛光工艺,用于制造半导体行业的晶圆。它 化学机械平面化〔CMP〕是一种抛光工艺,用于制造半导体行业的晶圆。它 需要使用抛光工具和抛光浆料。工具中的浆料会传送到晶圆外表,并且由于 需要使用抛光工具和抛光浆料。工具中的浆料会传送到晶圆外表,并且由于 运输/处理问题,枯燥以及浆料安排系统内的相互作用而可能包含大颗粒 /团块〔 1μ〕。这些大颗粒继而会增加在完成CMP 工艺之后觉察的

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