一种用于衬底处理设备的信号调制模组.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种用于衬底处理设备的信号调制模组.pdf

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本发明公开了一种用于衬底处理设备的信号调制模组，包括：壳体，设置在所述壳体上的若干个接口，所述接口用于接收所述衬底处理设备的外围器件产生的信号；PCB底板，所述PCB底板上设有至少一个信号输入端和至少一个信号输出端，所述若干个接口分别与信号输入端一一电连接；若干个PCB立板，所述PCB底板和若干个PCB立板设置在所述壳体的内部，若干个所述PCB立板间隔设置在所述PCB底板上；所述PCB立板包括调压调序电路，用于调节信号的电压和将信号调制成所述衬底处理设备预定义的标准信号排序。本发明实现了减小尺寸

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114384841 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202111661136.3 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人江苏天芯微半导体设备有限公司