一种石英舱体等离子清洗装置.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种石英舱体等离子清洗装置.pdf

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本发明公开了一种石英舱体等离子清洗装置，涉及等离子清洗技术领域，该清洗装置包括石英舱体、等离子体激发电极板、顶盖体和显示操作控制板；还包括样品安装件、至少一个驱动杆体和悬吊盘体，所述悬吊盘体可拆卸安装在石英舱体端口处，样品安装件设在悬吊盘体上并延伸至石英舱体内部，所述驱动杆体竖向设在悬吊盘体上且驱动杆体上设有多个竖向等距排列的单向推动件，所述样品安装件安装处理样品处设有带凸条板的环套，单向推动件能够在带凸条板的环套上移时推动其旋转一定角度。本发明结构简单，能够对样品进行翻转清洗，提高清洗的全面性

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114378056 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202210088527.9 (22)申请日 2022.01.25 (71)申请人赛福仪器承德有限公司