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一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的装置与方法.pdfVIP

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  • 2023-05-09 发布于四川
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一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的装置与方法.pdf

    一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的装置及方法，属于光学测量技术领域，解决了现有的装置对表面缺陷的检测识别较为困难，且存在大量误差的问题。所述装置包括激光照射装置、被检测样品装置、激光接收装置、图像观察装置、电路控制装置和显示与数据处理装置；所述被检测样品装置一侧设置有激光照射装置，另一侧设置有激光接收装置；所述被检测样品装置、激光接收装置、图像观察装置和显示与数据处理装置均与电路控制装置连接；所述激光接收装置包括S波光电探测器和P波光电探测器；所述S波光电探测器和P波光电探测器均与电路控制装

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116067986 A (43)申请公布日 2023.05.05 (21)申请号 202310212669.6 (22)申请日 2023.03.08 (71)申请人 长春理工大学 地址 130012

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