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本发明提供了一种多晶硅生产中废气的回收系统、回收方法，涉及多晶硅生产技术领域，多晶硅生产中废气的回收系统包括：第一回收单元、第二回收单元、吸附单元及储存单元，所述第一回收单元包括：第一水冷器、第一热交换器、第二水冷器、第二热交换器及第一深冷器，所述第二回收单元包括：第三水冷器、第三热交换器、第四热交换器及第二深冷器，所述第二水冷器连接所述第一热交换器与所述第二回收单元，进入所述第一水冷器中的废气从所述第一热交换器的出气端口输入所述第三水冷器，能对废气中的氯硅烷进行多级循环冷凝，进入所述第三水冷器
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116059776 A
(43)申请公布日 2023.05.05
(21)申请号 202310168022.8
(22)申请日 2023.02.23
(71)申请人 甘肃瓜州宝丰硅材
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