一种卧式排气设备.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种卧式排气设备.pdf

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本申请涉及真空排气技术领域，尤其涉及一种卧式排气设备，包括烘箱、内真空组件、外真空组件、供氮件、氮气循环组件。烘箱形成真空室，真空室能够打开或封闭，烘箱包括外壳和内壳，内壳设有加热结构，外壳和内壳之间具有隔热间隙，内壳开设有气孔；内真空组件具有内真空抽气口；外真空组件具有外真空抽气口；供氮件，与真空室相连，用于向真空室提供氮气；氮气循环组件设置于隔热间隙对应气孔处，能够使得外壳和内壳之间的氮气在气孔流动。本申请的卧式排气设备，能够缩短降温时间，提高工作效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114483530 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111679073.4 F26B 5/04 (2006.01)