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- 2023-05-09 发布于四川
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本发明公开了一种晶圆对准方法、装置、电子设备以及可读存储介质，该晶圆对准方法包括：获取晶圆图像；获取同一坐标系下所述晶圆图像的轮廓中的至少三个坐标点；根据所述至少三个坐标点确定所述晶圆的圆心坐标；根据所述圆心坐标控制转移模块抓取所述晶圆，将所述晶圆移动至磨削工作台上，使所述晶圆的圆心在所述磨削工作台上的垂直投影与所述磨削工作台的中心重合。本发明提供的晶圆对准方法、装置、电子设备以及可读存储介质，可以快速准确的获取晶圆的圆心坐标，且可以将晶圆的圆心与磨削工作台的中心对准，提高晶圆的减薄效率和减薄质
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116072575 A
(43)申请公布日 2023.05.05
(21)申请号 202310217515.6
(22)申请日 2023.03.02
(71)申请人 宁波芯丰精密科技有限公司
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