一种镀膜用坩埚挡板.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种镀膜用坩埚挡板.pdf

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本发明涉及真空镀膜技术领域，公开一种镀膜用坩埚挡板，挡板由多块均分的子挡板拼合形成，每块所述子挡板上连接有驱动杆，所述驱动杆可带动子挡板移动且移动过程中不会与相邻子挡板发生干涉。由于整块挡板被均分成多块子挡板，在各子挡板同步移开的过程中，不会存在弧形面扫动空气、影响气态蒸发料流速的现象，保证了气态蒸发料上升速率的稳定性和同向性。各子挡板移开时直接将最中心的坩埚金属源暴露出来进行全方位无死角的同时镀膜，不会造成一侧已经镀膜，另一侧还未镀膜的状况，规避了传统镀膜过程中因挡板旋转造成的镀膜时间差，充分

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114481036 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210061824.4 (22)申请日 2022.01.19 (71)申请人安徽光智科技有限公司地址 239