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探针头连接方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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探针头连接方法.pdf

    本申请提供一种探针头连接方法，包含以下步骤。首先，于探针头与针测机之间，设置载板与测试夹具，测试夹具设置于针测机中，且测试夹具用以容置载板。启动探针头的吸真空功能，并且移动探针头以对位测试夹具。接着，移动探针头至接触测试夹具中的载板。最后，以至少一卡合件以固定探针头与测试夹具。其中载板用以直接对接晶圆。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114518472 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202011295154.X (22)申请日 2020.11.18 (71)申请人 致茂电子（苏州）有限公司 地址 2

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