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- 2023-05-10 发布于四川
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本发明提供一种针测系统，利用真空吸附晶圆，可调整其垂直距离进行针测，随探针在长时间使用后所造成的耗损，本发明的针测系统可自动调整真空吸嘴的高度，以达到最佳测试针压。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114518518 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202111191497.6
(22)申请日 2021.10.13
(30)优先权数据
109140651 2020.
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