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一种检测ECG的超硬导电膜溅射镀膜方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种检测ECG的超硬导电膜溅射镀膜方法.pdf

    本发明公开了一种检测ECG的超硬导电膜溅射镀膜方法，是基于GG6康宁玻璃上镀制的4‑11层膜系的薄膜，分为基材/打底层/ECG膜层，采用TiAl靶、CrSi靶、C靶三种靶材，通过在溅射镀膜机的腔体内充入惰性气体Ar以及氮气，实现PVD镀膜；镀制过程中利用带正电的氩离子高速轰击三种靶材，让他们同时溅射到玻璃基板上，在滚筒旋转经过氧化室的时候，在加热的情况下，这几种物质与氮气发生复杂的反应溅射，生成TiAlCrSiCN薄膜。本发明采用分层镀制，避免了金属类薄膜易产生针孔的情况,提高了膜层的致密性，保

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114517286 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202111608885.X A61B 5/145 (2006.01)

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