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- 2023-05-10 发布于四川
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本发明涉及一种空间分辨的光诱导增材制造方法，包括以下步骤：步骤1：首先沉积光和指引光通过准直透镜组；步骤2：通过二向色镜后再由聚焦透镜组射入匀光模组的入射端面；步骤3：通过匀光模组后的光线再次通过准直透镜组，步骤4：准直光通过反射镜反射至第一分光片，并由第一分光片将一部分分光反射至光掩模板上；步骤5：反射的光将带有光掩模板上的信息；步骤6：光诱导化学气相沉积的反应前驱体通过进气口进入，在沉积光照射部分，反应物发生热解反应或光解反应，从而在样品基底沉积成膜，实现了信息的转移；步骤7：对样品进行实时
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114517291 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202011313638.2
(22)申请日 2020.11.20
(71)申请人 赫智科技(苏州)有限公司
地址 2
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