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- 2023-05-10 发布于四川
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本发明提供用于使用激光干涉测量来测量移动物体的系统及方法。所提供系统包含激光干涉测量系统，其包括：激光发射器，其经配置以发射激光束；分束器，其经配置以将所述发射激光束分成引导向偏转器的第一分束及第二分束，其中所述第一分束包括第一光束直径及第二光束直径，所述第一光束直径大于所述第二光束直径，且所述第二分束包括第三光束直径及第四光束直径，所述第三分束直径大于所述第四光束直径；及偏转器，其经配置以使所述第一分束偏转以与所述第一分束相交，其中所述第一光束直径与所述第三光束直径平行。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114521227 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202080066254.7 (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限
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