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一种确定光刻光源模型的训练方法及装置.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种确定光刻光源模型的训练方法及装置.pdf

    本申请公开了一种确定光刻光源的模型训练方法及装置，构建卷积神经网络模型，利用特定尺寸版图及其对应光源作为卷积神经网络模型的训练集，并学习特定尺寸版图以及特定尺寸版图对应的光源之间的映射关系，根据映射关系确定卷积神经网络模型的模型参数，从而完成卷积神经网络模型的训练。这样，利用特定尺寸版图及其对应光源作为卷积神经网络模型的训练集，能够提高确定光刻光源模型的准确性。并且利用该模型训练方法获得的卷积神经网络方法能够确定出待光刻版图的光刻光源，无需每次采用仿真软件计算版图中各个代表图形的光刻工艺窗口，提

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111999992 A (43)申请公布日 2020.11.27 (21)申请号 202010988995.2 (22)申请日 2018.10.26 (62)分案原申请数据 2018112

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