一种向下式的蒸镀系统及装置.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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一种向下式的蒸镀系统及装置.pdf

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本发明公开了一种向下式的蒸镀系统及装置，涉及OLED蒸镀相关领域，现有OLED蒸镀系统，一般为向上的蒸镀系统，主要通过蒸发源将材料蒸镀到基板上，从而形成薄膜装置，并最终产出器件，本系统，包括基板装载模块、有机蒸镀模块、缓冲模块、有机掩膜板回收模块、金属蒸镀模块、基板卸载模块和金属掩膜板回收模块，将蒸镀加热装置由装置底部安置到了装置顶部，解决了传统向上蒸镀技术蒸镀过程基板与掩模板存在一定的间隙，影响成膜的均匀性，采用团簇式结构，必须添加传输腔室，成本较高，占地面积较大的技术问题。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574817 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210054308.9 H01L 51/56 (2006.01) (22)申请日 2022.01.