原创力文档- 3
- 0
- 约1.7万字
- 约 15页
- 2023-05-11 发布于四川
- 举报
本发明提供一种基于NbN约瑟夫森结的超导量子比特结构及其制备方法，该超导量子比特结构包括衬底、缓冲层、功能层、隔离层、第一配线部及第二配线部，其中，缓冲层位于衬底的上表面，功能层位于缓冲层的上表面且包括间隔设置的电容器、第一约瑟夫森结、第二约瑟夫森结及谐振器，隔离层填充功能层中的间隙并覆盖功能层的显露表面及衬底的上表面，且隔离层中设有第一接触孔及第二接触孔，第一配线部填充于第一接触孔并与第一约瑟夫森结的上表面接触，第二配线部填充于第二接触孔并与第二约瑟夫森结的上表面接触。本发明通过采用高阻率的硅
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114583038 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210226252.0
(22)申请日 2022.03.09
(71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术
文档评论（0）