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- 2023-05-11 发布于四川
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本发明公开了CCD/CMOS极紫外波段量子效率检测方法，包括极紫外辐射光源、真空腔室、样品台、被测CCD或CMOS以及数据采集机构，真空腔室内为真空，样品台位于真空腔室中，被测CCD或CMOS安置在样品台上，被测CCD或CMOS与数据采集机构信号连接，真空腔室内安装有球面光栅单色器，球面光栅单色器有若干个可转动的光栅，极紫外同步辐射光能射入被测CCD或CMOS镜头，不同的光栅通过改变光栅入射角大小，使得球面光栅单色器输出特定波长的入射单色光。本发明利用同步辐射产生出高纯度的极紫外波段单色光，波长
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114577446 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210221738.5
(22)申请日 2022.03.07
(71)申请人 中国科学院紫金山天文台
地址 21
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