一种物理气相沉积设备.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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一种物理气相沉积设备.pdf

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本发明揭示了一种物理气相沉积设备，其包括镀膜腔体、输送穿过所述镀膜腔体的输送装置、气体导入系统以及真空排气系统，镀膜腔体内位于输送装置的上方与下方分别设置有阴极组件、阳极组件；阴极组件包括旋转电机以及受旋转电机驱动进行旋转的阴极靶材，气体导入系统包括设置在镀膜腔体内壁顶部的导流板，导流板自上而下依次包括第一喷淋板、第二喷淋板以及第三喷淋板；第一喷淋板的中部设置有m道条形槽口，第二喷淋板上设置有2m列第一进气孔组，第三喷淋板上设置有4m列第二进气孔组，两列第一进气孔组对称位于条形槽口的下方两侧，m

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116083867 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202310058710.9 (22)申请日 2023.01.14 (71)申请人苏州晟成光伏设备有限公司地址