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- 2023-05-11 发布于四川
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本发明公开了一种便于取料的碳化硅晶体生长炉，包括生长炉，生长炉外侧设有支撑座，支撑座的上表面安装有C型架，C型架内壁固定连接有电机二和U型板，U型板内壁的相对侧限位转动连接有限位轴，电机二的输出端贯穿U型板并与限位轴一端固定连接，生长炉的顶部贯通连接限位管，限位管的上表面贴合连接有保护管，保护管内设有限位盘，限位盘的上表面固定连接有钢缆，钢缆的远离限位盘的一端与限位轴固定连接，限位盘的下表面固定连接有固定块，固定块的下表面固定连接有晶棒，保护管的顶端贯通连接在C型架的底部，通过限位盘带动晶棒进入
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114574976 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210221498.9
(22)申请日 2022.03.07
(71)申请人 徐州美芯半导体材料科技有限公司
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