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一种过滤器固定结构及过滤装置.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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一种过滤器固定结构及过滤装置.pdf

    本申请涉及半导体制造技术领域，公开了一种过滤器固定结构及过滤装置，过滤器固定结构包括支架和连接件，其中：支架内部具有容置空间，容置空间相对的两侧设有连接孔和安装孔，安装孔和连接孔均与容置空间连通，安装孔可用于安装过滤器接口，以使得过滤器接口的至少一部分位于容置空间；连接件的一端可由连接孔伸入至容置空间内，并且连接件可相对支架上下移动地连接于支架，以使得连接件朝向安装孔的端面与过滤器接口的端面抵接或与过滤器接口的端面脱离接触；连接件内设有与过滤器接口连通的流通通道。本申请公开的过滤器固定结构，不仅

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114570098 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210203895.3 (22)申请日 2022.03.03 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 230

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