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一种CIS玻璃罩的减薄方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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一种CIS玻璃罩的减薄方法.pdf

    本发明涉及CIS晶圆加工领域，具体的是一种CIS玻璃罩的减薄方法，S1、在CIS玻璃罩的一侧通过粘着剂键合玻璃载板，通过蚀刻保护胶对CIS玻璃罩和玻璃载板进行保护，露出CIS玻璃罩的待减薄一侧；S2、通过含氟电浆蚀刻CIS玻璃罩使其减薄并去除蚀刻保护胶，得到超薄CIS玻璃罩；S3、在超薄CIS玻璃罩表面进行CV制程；S4、完成CV制程后，键合CIS晶圆正面并对CIS晶圆背面进行减薄，完成正常封装流程；S5、将超薄CIS玻璃罩和玻璃载板进行解键合，去除玻璃载板。本发明在工作过程中超薄玻璃与玻璃载板

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114573239 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210168385.7 (22)申请日 2022.02.23 (71)申请人 苏州轩创科技有限公司 地址 江苏省

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