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单晶炉籽晶提升动态重心监测自平衡系统.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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单晶炉籽晶提升动态重心监测自平衡系统.pdf

    本发明属于单晶炉技术领域，具体的说是单晶炉籽晶提升动态重心监测自平衡系统，包括提升腔、从动带轮、安装板、上水平调整座和下水平调整座；所述提升腔下端固接从动带轮，从动带轮转动安装在安装板的上表面，安装板的下表面通过多个称重传感器连接上水平调整座，上水平调整座下方通过多个支撑柱连接下水平调整座；通过十字调平衡单元与称重传感器之间的配合，称重传感器反馈信号的差异判断重心偏移位置，称重传感器可采用轮辐式称重传感器，并由此实时监测整体提升腔下方提拉头是否处于平衡状态。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574951 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210194834.5 (22)申请日 2022.03.01 (71)申请人 连城凯克斯科技有限公司 地址 21

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