蒸镀盖板及蒸镀装置.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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蒸镀盖板及蒸镀装置.pdf

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本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀盖板及蒸镀装置，前者包括盖板本体；盖板本体至少设置有三个同心设置的遮盖区，且遮盖区中开设有均匀间隔的蒸镀口；盖板本体朝向待蒸镀基材的一侧还设置有喷嘴，喷嘴与蒸镀口一一对应设置；其中，沿盖板本体的径向，位于盖板本体的中心部的喷嘴竖直向上设置；位于盖板本体的中间部的喷嘴向上倾斜并朝向盖板本体的中心设置；位于盖板本体的外周部的喷嘴向上倾斜并背离盖板本体的中心设置。后者包括前者。该蒸镀盖板能够在蒸镀材料从喷嘴通过掩膜板的开口蒸镀到基材的过程中，将蒸镀材料均匀逸散

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574810 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202011384380.5 (22)申请日 2020.11.30 (71)申请人上海升翕光电科技有限公司地址 2