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一种提升特征不明显缺陷辨识度的方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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一种提升特征不明显缺陷辨识度的方法.pdf

    一种提升特征不明显缺陷辨识度的方法，包括：进行缺陷扫描，并通过扫描图像与参考图像对比，获得缺陷图像；根据图像块判断是否需要添加对比缺陷坐标；根据判断标准之第一原则，若需添加对比缺陷坐标，则添加对比缺陷坐标，命名为缺陷识别码，定义为对比图像；根据判断标准之第二原则，若无需添加对比缺陷坐标，则正常生成缺陷图谱；在添加对比缺陷坐标后，进行缺陷检测，并将对比图像同步检测且输出。本发明提升特征不明显缺陷辨识度的方法不仅使得特征不明显之缺陷辨识高效、快速，而且更为直观方便，值得业界推广使用。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114581391 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210187963.1 (22)申请日 2022.02.28 (71)申请人 上海华力微电子有限公司 地址 20

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