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本发明公开了一种24簧片的三维等测力扫描测头,包括测头安装座、电路处理模块、信号放大模块、测头本体、平衡弹簧、触发开关、测针座、测针接头、测针、测球、磁吸结构、x向导向机构、y向导向机构、z向导向机构;本发明中3个导向机构共使用了24个弹性簧片,除了z向导向机构中的2组弹性簧片尺寸一致以外,x向导向机构和y向导向机构中各自的2组弹性簧片尺寸均不一致,通过受力分析和优化设计,可实现三维扫描测头的三维等测力测量。本发明中3个导向机构都配有差动电容传感器和正交布置的两组不等面积极板电容传感器,可实现各
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116086293 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202211364869.5
(22)申请日 2022.11.02
(71)申请人 北京工业大学
地址 100124
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