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本文描述了用于监测和同步用于处理系统的分配系统的实施例。对于一个实施例,使用压力传感器和流速传感器来确定流量变化事件与流速增加之间的延迟,并且使用该延迟来检测该分配系统内的缺陷或状况。对于一个实施例,使用流速传感器来同步分配系统操作。对于一个实施例,使用基于组合的压力/流量/自旋/浓度传感器数据的模拟模型或复合分配曲线来实现复杂的工艺方案。对于一个实施例,使用分配间的压力和/或流速测量结果来检测分配参数和缺陷。对于一个实施例,使用相机和图像处理来检测分配喷嘴的流速,并且使用分配间的测量结果来检测
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114599459 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202080075319.4 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限
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