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- 2023-05-12 发布于四川
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一种梳齿驱动的静电MEMS微镜角度检测电路及方法，属于微机电领域。通过在驱动电极上施加电压，驱动动梳齿和可动镜面围绕扭转梁扭转，使动梳齿与静梳齿之间的交叠面积发生变化，导致动梳齿和静梳齿构成的电容发生变化；电容在变化过程中，调制感测电压的幅值，产生感测信号；通过在感测电极上测量感测信号能检测梳齿电容的变化，能求得梳齿驱动的静电MEMS微镜的偏转角度。采用频率远高于驱动电压的感测电压，对频域进行隔离，并对微镜运动产生的感测信号进行窄带通滤波处理，滤除驱动电压产生的干扰；通过T型偏置电路，降低驱动电
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116086308 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202211621632.0
(22)申请日 2022.12.16
(71)申请人 北京理工大学
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