晶体生长炉坩埚驱动轴预对中装置及其控制方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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晶体生长炉坩埚驱动轴预对中装置及其控制方法.pdf

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本申请提供一种晶体生长炉坩埚驱动轴预对中装置及其控制方法，其中预对中装置包括：具有承载面的基座本体；承载面上可转动地设有坩埚驱动轴，第一轴线的方向为第一方向；坩埚驱动轴的顶端同轴设有透光结构；籽晶直拉杆，籽晶直拉杆沿所述第一方向具有第一端和第二端，靠近第一端侧设有旋转平台，籽晶直拉杆可转动地设于旋转平台，旋转平台的一端通过驱动机构与支架本体的顶端连接；第二端为半球形；激光组件设于第二端的最底端，用于向透光结构发射激光，激光在透光结构上形成激光点；摄像组件设于坩埚驱动轴内靠近透光结构端，用于获取具

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115354389 A (43)申请公布日 2022.11.18 (21)申请号 202211036770.2 (22)申请日 2022.08.29 (71)申请人中能兴盛（香河）机电设备有限公司地