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用于在真空下改变流导的阀.pdfVIP

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  • 2023-05-12 发布于四川
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用于在真空下改变流导的阀.pdf

    本文描述的实施方式涉及一种用于半导体处理的阀。该阀包括阀体，该阀体具有由膜片体隔开的入口导管和出口导管。膜片体包括电机、联接至电机的传动联接件、围绕固定板并由动态密封件隔开的能旋转的环、以及通过相应的能枢转的紧固件可移动地联接至能旋转的环的一个或多个闸板，其中该能旋转的环联接至该传动联接件，其中该固定板包括开口并且所述一个或多个闸板相对于该开口是可移动的。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116097028 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202180052845.3 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理

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