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本发明提供一种场控等离子体超细金属粉末制备炉，由炉体、坩埚、等离子体加热系统、金属工质、静电场电源和若干导线组成，坩埚通过绝缘方式跟炉体连结，金属工质放在坩埚内，等离子体加热系统加热金属工质到沸点，静电场电源两极通过导线一极连接金属工质，一极连接炉体。本发明使蒸发的金属蒸汽微粒带上电荷，在电荷同性相斥作用下金属微粒之间就克服了容易聚合长大的缺陷，同时带电金属蒸汽在跟炉体之间的电场力作用下加速向炉体迁移，从而提高了金属蒸汽移动速率提高了生产效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114603151 A
(43)申请公布日 2022.06.10
(21)申请号 202210313085.3
(22)申请日 2022.03.28
(71)申请人 中国科学院合肥物质科学研究院
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