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- 2023-05-12 发布于四川
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本申请提供一种分区式石墨烯薄膜制备装置，包括放料腔、收料腔和高温腔。放料腔内部设置有放料辊。收料腔内部设置有收料辊。高温腔设置在放料腔和收料腔之间，高温腔的内部设置有载具，载具的上方设置有限域挡板，限域挡板与载具形成一狭缝，限域挡板邻近放料腔，狭缝和载具均由放料腔向收料腔延伸，狭缝的延伸长度是载具的延伸长度的30％～60％，载具的下方设置有加热器。通过以上设计，可实现衬底预处理区域和石墨烯薄膜的高温生长区域分开，且预处理和高温生长可以同时进行。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114572970 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210291247.8
(22)申请日 2022.03.23
(71)申请人 北京石墨烯研究院
地址 10009
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