一种具有复合支撑层的MEMS红外光源及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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一种具有复合支撑层的MEMS红外光源及其制备方法.pdf

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本发明属于光电技术领域，具体涉及一种具有复合支撑层的MEMS红外光源及其制备方法。该MEMS红外光源包括衬底、支撑层、发热电极层、红外发射层；以及两条发热电极焊盘。其中，衬底中包含一个台体型的镂空结构；支撑层设于衬底上，并在衬底下方形成一个空腔结构以使得支撑部分悬浮。发热电极层位于支撑层上方，两条发热电极焊盘均位于发热电极层上，红外发射层位于发热电极焊盘内，并使得红外发射层的分布区域位于悬浮区内。支撑层采用由多个不同材质的结构层交替排列构成复合结构；在支撑层中与发热电极层相邻的结构层为介质层。本

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116081563 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202211444594.6 (22)申请日 2022.11.18 (71)申请人微集电科技（苏州）有限公司地址