- 1、本文档共13页,其中可免费阅读12页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明实施例公开了一种尺寸测试结构及方法,其中,所述尺寸测试结构用于测试第一类浅沟槽隔离(STI)结构的尺寸,所述尺寸测试结构包括:位于衬底中的晶体管的源极和漏极;位于所述晶体管的源极及漏极之间的所述第一类STI结构;所述第一类STI结构包括氧化物层,所述氧化物层的顶面高于所述衬底的表面;位于所述氧化物层顶面上的栅极结构;以及位于所述源极与所述漏极之间的沟道区域。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114649303 A
(43)申请公布日 2022.06.21
(21)申请号 202210133747.9
(22)申请日 2022.02.08
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
地址 4
您可能关注的文档
- 基于网络切片和无证书公钥密码体系的系统安全控制方法.pdf
- 一种有机硅涂料用安全稀释剂及其制备方法.pdf
- 一种基于多角度成像的MPD羽流结构测试装置及方法.pdf
- 基于状态约束和时频特征的建筑能耗预测方法及系统.pdf
- 一种手持式大扭力智能电批.pdf
- 冲击作用下动态机构制动锁止装置及方法.pdf
- 真空炉渣脱水机.pdf
- 基于IS联合SVR的大规模多组分定量数据校正方法及系统.pdf
- 半导体器件及其形成方法.pdf
- 一种高线性度GaN HEMT射频功率放大器电路.pdf
- 房地产销售公司档案归档管理办法.doc
- 汽车销售公司客户转介绍管理细则.doc
- ‘黔核7号’去皮种仁多酚含量、抗氧化活性与多酚代谢关键酶活性的关系分析.pdf
- ‘阳光玫瑰’葡萄9种缺素症的观察与分析.pdf
- “参与型农民”的形成:影响因素、组态路径及耦合机制——基于30个案例的定性比较分析(QCA).pdf
- “环境-过程-成效”分析框架下的早期读写服务机制——以First 5 Forever项目为中心的探究.pdf
- 汽车销售公司车辆过户审核规定.doc
- 汽车销售公司车辆续保审核规定.doc
- 关于对团的认识入团申请书应该怎么写参考.docx
- ‘湘辣14号’辣椒叶绿体全基因组特征及进化关系分析.pdf
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新最新专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)