原创力文档- 41
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- 2023-05-13 发布于四川
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本发明属于MOCVD设备制造领域，提供了一种基于MOCVD设备的石墨盘，包括：石磨盘本体，所述石磨盘本体上设有多个用于安装外延片的凹槽，所述凹槽按同轴心的内圈、中圈、外圈设置，所述内圈设置有6片凹槽，所述凹槽内底部不均匀分布的设有多个支撑点，所述凹槽为锥筒状设置。本发明通过调整内圈的直径，使内圈可以设置有6片凹槽，并在凹槽底部不均匀的设有支撑点，同时将凹槽的侧边设计为80度倾角，在实现设备产量提升的同时改善飞片及受热不均匀的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114645324 A
(43)申请公布日 2022.06.21
(21)申请号 202210318805.5
(22)申请日 2022.03.29
(71)申请人 江苏鹏举半导体设备技术有限公司
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