1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种基于MOCVD设备加热器的隔热板.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约8.53千字
  • 约 8页
  • 2023-05-13 发布于四川
  • 举报

一种基于MOCVD设备加热器的隔热板.pdf

    本发明属于MOCVD设备制造领域，提供了一种基于MOCVD设备加热器的隔热板，包括：载片盘，设置在所述载片盘下侧的加热器，以及设置在所述加热器底部的隔热层，所述加热器底部和所述隔热层之间设有隔热板机构；所述加热器底部设有加热器电极，所述加热器电极穿过所述隔热层和所述隔热板机构；所述隔热板机构由多个不同形状的隔热板拼装组成。在原机台隔热层上方新增一层隔热板机构，有利于生长工艺对温场的精密控制，大大提升产品良率，解决经高温烘烤后隔热层上翘形变、与加热器支架打火放电的异常，隔热层经隔热板机构保护，使用

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114645262 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202210318468.X (22)申请日 2022.03.29 (71)申请人 江苏鹏举半导体设备技术有限公司 地址

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >