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一种静电式MEMS法珀腔芯片的调平系统及调平方法.pdfVIP

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  • 2023-05-13 发布于四川
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一种静电式MEMS法珀腔芯片的调平系统及调平方法.pdf

    本发明提供了提供了一种静电式MEMS法珀腔芯片的调平系统及调平方法：其中装置包括处理终端、光谱仪、光学准直器、聚焦模块、非相干宽光谱光源和用于调平MEMS法珀腔芯片的驱动调整组件；光学准直器的出射端设置有所述光谱仪，驱动调整组件设置于光谱仪和光学准直器之间，光谱仪对处理终端发送光谱数据，处理终端对驱动调整组件进行驱动控制；驱动调整组件包括电压控制模块和芯片夹具，芯片夹具用于固定MEMS法珀腔芯片并通过导电弹片的方式与MEMS法珀腔芯片盖板上的四个驱动电极相连接。通过该装置可以快速的找到每个驱动电

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114647076 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202210287096.9 (22)申请日 2022.03.23 (71)申请人 优尼科（青岛）微电子有限公司 地址

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