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本发明提供一种防超时的芯片产品腐球检验工艺,包括以下步骤:步骤1,将芯片从基岛剥离,获得样本,并将样本信息进行记录;步骤2,将样本送入腐球工位,并对腐球工位的腐球杯号和腐球检验开始时间进行记录;步骤3,利用自动控制设备对腐球工位上的样本进行腐球工序;步骤4,利用自动控制设备对腐球到时的样本进行取出,并送去清洗工位进行清洗;步骤5,将清洗后的样本进行确认,并获得样本的腐球结果。本发明用以实现在对芯片生产过程中,进行腐球作业时能够进行自动化生产或自动化控制的目的,使得腐球作业能在规定的预设时间内完成
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114628268 B
(45)授权公告日 2022.07.29
(21)申请号 202210511181.9 JP A,1993.05.25
(22)申请日 2
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