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一种基于零反射差分信号测量各向异性薄膜的方法，涉及薄膜厚度检测领域，包括以下步骤：利用反射差分光谱仪、光弹调制式反射差分光谱仪测得样品的宽波段反射差分光谱；确定零反射差分信号对应的入射波长：在宽波段反射差分光谱中遍历所有波长通道，确定反射差分信号过零时对应的波长；各向异性薄膜厚度的确定：根据获得反射差分零信号对应的波长与薄膜厚度的映射关系，确定各向异性薄膜的厚度。本发明提出利用反射差分信号的过零点ΔR/R＝0的位置来确定各向异性薄膜的厚度，可以去除入射光的偏振角度与各向异性薄膜晶轴角度的差异引入
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116045821 A
(43)申请公布日 2023.05.02
(21)申请号 202211000966.6
(22)申请日 2022.08.19
(71)申请人 天津大学
地址 300100
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