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旋转基座装置及半导体工艺设备.pdfVIP

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  • 2023-05-13 发布于四川
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旋转基座装置及半导体工艺设备.pdf

    本发明提供一种旋转基座装置及半导体工艺设备，旋转基座装置，应用于半导体设备的工艺腔室中，包括基座组件、至少两个磁旋转件和至少两组磁驱动组件，其中：基座组件设置于工艺腔室中，用于承载晶圆；磁旋转件与基座组件连接；磁驱动组件固定设置于工艺腔室外，磁旋转件和磁驱动组件均沿基座组件的周向均匀分布，每组磁驱动组件包括两个磁驱动件，磁驱动件通过磁性耦合可带动磁旋转件旋转，进而磁旋转件带动基座组件绕自身的轴线旋转。本发明提供的旋转基座装置及半导体工艺设备，能够提高晶圆旋转的水平度及同心性，改善工艺结果。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114649256 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202210268587.9 (22)申请日 2022.03.18 (71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司 地址

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