1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种可调谐微腔光频梳器件及其制备方法.pdfVIP

  • 4
  • 0
  • 约9.19千字
  • 约 12页
  • 2023-05-13 发布于四川
  • 举报

一种可调谐微腔光频梳器件及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种可调谐微腔光频梳器件及其制备方法，该器件包括：衬底、微环波导、耦合直波导、加热器和电极；衬底上方集成有微环波导和耦合直波导，耦合直波导与微环波导连接，微环波导上方集成有加热器和电极，加热器与电极连接。本发明通过对加热器外加电压，对微环的谐振波长进行热调，能够在降低波导材料损耗的同时提高微环谐振腔的品质因子Q值，并通过低压化学气相沉积法沉积氘代氮化硅层，能够降低波导的传输材料损耗，提高微环谐振腔的Q值。本发明作为一种可调谐微腔光频梳器件及其制备方法，可广泛应用于光子学技术领域。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114647104 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202210274658.6 (22)申请日 2022.03.21 (71)申请人 中山大学 地址 510275 广

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >