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一种显影机的智能导料装置及其工作方法.pdfVIP

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  • 2023-05-13 发布于四川
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一种显影机的智能导料装置及其工作方法.pdf

    本发明涉及半导体技术领域，应用于半导体制造流程中，在硅片进入匀胶机后，通过匀胶机上的喷胶模块将光刻胶喷在硅片上，再将硅片通过上下料装置移到光刻机上进行曝光操作，后移至显影机上进行显影液的喷涂，便于将光刻机光刻出的线路显现出来，具体为一种显影机的智能导料装置及其工作方法，包括进料板、显影机本体和出料板；本发明通过压力感应器和测距仪的作用，使出料板位置处可进行其他印版的放置，无需工作人员人工进行来回进行放料和收料操作，不会耗费较多的时间，导致工作效率降低的情况，通过抽风机工作时支撑环位置处产生的负压

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114647158 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202210290280.9 (22)申请日 2022.03.23 (71)申请人 无锡环亚微电子有限公司 地址 21

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