一种封装结构、光电装置及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-14 发布于北京
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一种封装结构、光电装置及其制备方法.pdf

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本发明公开一种封装结构、光电装置及其制备方法。所述封装结构包括至少一层缓冲层和至少一层阻隔层，所述缓冲层与所述阻隔层交替层叠设置，所述缓冲层包括金属醇盐，所述阻隔层用于阻隔水氧。本发明缓冲层可以为沉积阻隔层提供平坦表面，增加有效扩散路径，延缓水氧渗透，其低温制程、内部残留的未反应活性烷基和紫外吸收剂，可以避免后续制程中热辐射、氧、紫外光对光电器件造成的损伤。SiOx或SiONx或它们的复合膜层具有较少薄膜表面缺陷和较低表面应力，并兼顾优异的水氧阻隔能力。所述封装结构可通过溶液法制备，适合大尺寸器

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114695701 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202011630858.8 (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人 TCL科技集团股份有限公司地址