气体静压轴承性能测试方法 第3部分 回转精度.docxVIP

T/CMES 1.1—201X PAGE 5 T/CMES 1.1—201X PAGE II ICS ICS 21.100.10 J 12 团体标准 T/CMES XXXX—2021 气体静压轴承性能测试方法 第3部分：回转精度 Test method for performance of aerostatic bearings Part one: Rotation accuracy 2021-XX-XX 发布 2021-XX-XX 实施 T/CMES XXX—201X PAGE 3 T/CMES XXX—201X PAGE 13 T/CMES XXX—201X PAGE 12 气体静压轴承性能测试方法 第3部分：回转精度 范围 本标准规定了气体静压轴承回转精度的技术要求、测试装置、测试方法、数据处理方法。 本标准适用于气体静压轴承轴向与径向回转精度测试，尤其是回转精度100nm以内的测试，其他类似轴承（液体静压轴承、液态金属轴承等）可参照使用。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T17421.7-2016 机床检验通则 第7部分：回转轴线的几何精度 GB/T16462.4-2007数控车床和车削中心检验条件 第4部分：线性和回转轴线的定位精度及重复定位精度检验 术语和定义 GB/T17421.7-2016及GB/T16462.4-2007界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 轴承误差运动 bearing error motion 由于有缺陷的轴承所致的误差运动。 总误差运动 total error motion 所记录的全部误差运动，由主轴结构误差运动的同步误差运动、非同步误差运动两部分构成。 同步误差运动 synchronous error motion 总误差运动的一部分，其出现在主轴旋转频率的整数倍频率上。 基本误差运动 fundamental error motion 总误差运动的一部分，出现在主轴的旋转频率上。 残余同步误差运动 residual fundamental error motion 同步误差运动的一部分，其出现在旋转频率的整数倍频率上，但基本误差运动除外。 非同步误差运动 asynchronous error motion 总误差运动的一部分，其出现在不同于旋转频率的整数倍频率上。 径向误差运动 radial error motion 在一规定的轴向位置处，其方向垂直于轴线平均线的误差运动。 轴向误差运动 axial error motion 与轴线平均线同轴的误差运动。 通用技术要求 环境 在试验室环境下，测试环境温度应控制在20℃±2℃，温度波动不超过1℃/h。不应置于受气流和外部辐射如阳光、高架暖风机直吹影响的地方。 被测轴承 应提供被测轴承供气压力、供气洁净度和安装结合面。 应确保被测轴承通气、运转顺畅。 被测轴承在测试之前应通气1h以上，并经过充分运转； 被测轴承与测量设备应置于检验环境中足够长的时间（放置一整夜比较适宜），以与测试环境达到热稳定状态。 测试系统 测试装置组成 这里所建议的测量装置仅为举例。其他具有相同程度的测量能力并具有同等或更高精度的装置同样可以使用。 气体静压轴承回转精度测试系统由位移传感器、角度位置测量装置、基准检具（如标准球）、工作台、三维微调平台和被测轴承等组成，组成示意见图1。基准检具可以为标准球，通过工装定心于回转轴线上以使偏心减至最小（通常在5μm以内）。主轴的角度位置则由装于主轴上的角度位置测量装置（例如旋转编码器）测得。主轴旋转过程中的实际位移由位移传感器测得，包括径向位移传感器和轴向位移传感器，通过三维微调平台保证轴向位移传感器接近并平行于回转轴线。当气体静压轴承工作状态为立式时，应适当调整测量工装，保证静压轴承在立式状态下进行测量。主轴卧式或立式测量位置，应当与实际工作状态相一致。 注：本示例测量装置适用于固定敏感方向的轴承径向回转误差测量。 (a) 卧式回转精度测量 (b) 立式回转精度测量 1-工作台；2-主轴工装；3-角度位置测量装置；4-被测轴承；5-基准检具；6-径向位移传感器；7-传感器装夹工装；8-轴向位移传感器；9-三维微调平台；10-传感器固定工装 图1 静压轴承回转精度测试系统示意图 测试系统要求 非接触式位移传感器应对基准检具的金相变化不敏感，并具有足够的适应范围、分辨率、热稳定性、精度与频带宽度。所需的频宽取决于需要分辨的每转波动数及主轴转速范围，当主轴转速在6000r/min时，10KHz的频带宽度