原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种靶材组件及其加工方法，所述加工方法包括以下步骤：将靶材和背板结合后进行机加工，得到初级靶材组件；将初级靶材组件中靶材的溅射面边缘和部分靶材侧面区域进行滚花处理，对靶材侧面的剩余区域和部分背板区域进行喷砂处理，得到靶材组件。本发明所述加工方法通过对靶材溅射面边缘和靠近溅射面的部分侧面进行滚花处理，增强其对反溅射物的粘附能力，并利用滚花花纹的结构特性，避免反溅射物堆积过厚，有效防止因反溅射物过多而容易脱落的问题，保证镀膜产品的质量；所述加工方法对靶材组件的改进处理操作简单，效果显著，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113151798 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 202110475107.1
(22)申请日 2021.04.29
(71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司
文档评论（0）